Einfluß von Verunreinigungen von Quarz aif die Reinheit geglühter Halbleiteroberflächen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Fränz, I. (VerfasserIn), Langheinrich, W. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: München Zentralstelle für Luftfahrtdok. und information d. Deutschen Ges. für Flugwiss. 1968
Schriftenreihe:Forschungsbericht / Bundesministerium für Wissenschaftliche Forschung : W, Weltraumforschung 68/69
Beschreibung:23 S.

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