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Meyer, F. C. (2004). Simulation und experimentelle Verifikation von strukturgrößen- und flächenbelegungsabhängigen Effekten beim chemisch mechanischen Polieren in der Halbleitertechnologie.

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Meyer, Frank Christian. Simulation Und Experimentelle Verifikation Von Strukturgrößen- Und Flächenbelegungsabhängigen Effekten Beim Chemisch Mechanischen Polieren in Der Halbleitertechnologie. 2004.

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Meyer, Frank Christian. Simulation Und Experimentelle Verifikation Von Strukturgrößen- Und Flächenbelegungsabhängigen Effekten Beim Chemisch Mechanischen Polieren in Der Halbleitertechnologie. 2004.