Behrisch, R. Sputtering by particle bombardment: Physical sputtering of single-element solids. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Behrisch, R. Sputtering by Particle Bombardment: Physical Sputtering of Single-element Solids. Berlin [u.a.]: Springer.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Behrisch, R. Sputtering by Particle Bombardment: Physical Sputtering of Single-element Solids. Springer.
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