Radio frequency power in plasmas: 11 Eleventh topical conference on radio frequency power plasmas, Palm Springs, CA, May 1995
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Prater, Ronald (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Woodbury, NY AIP 1996
Schriftenreihe:AIP conference proceedings / American Institute of Physics 355
AIP conference proceedings / American Institute of Physics ...
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 502 S. Ill.
ISBN:1563965364

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