Leondes, C. T. MEMS / NEMS: Handbook techniques and applications. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Leondes, Cornelius T. MEMS / NEMS: Handbook Techniques and Applications. Berlin [u.a.]: Springer.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Leondes, Cornelius T. MEMS / NEMS: Handbook Techniques and Applications. Springer.
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