Fundamental electron interactions with plasma processing gases:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Christophoru, Lukas G. 1937- (VerfasserIn), Olthoff, James K. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Kluwer 2004
Schriftenreihe:Physics of atoms and molecules
Schlagworte:
Beschreibung:XII, 776 S. graph. Darst.
ISBN:0306480379

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!