Stover, H. L. (1982). Optical microlithographyg: Technology for the mid-1980s ; march 31-april 1, 1982, Santa Clara, Calif. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Stover, Harry L. Optical Microlithographyg: Technology for the Mid-1980s ; March 31-april 1, 1982, Santa Clara, Calif. Bellingham, Wash: SPIE, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Stover, Harry L. Optical Microlithographyg: Technology for the Mid-1980s ; March 31-april 1, 1982, Santa Clara, Calif. SPIE, 1982.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.