Jahn, U. (1982). Ausheilung ionenimplantierter Siliciumkristalle durch Bestrahlung mit Laser bzw. Elektronenimpulsen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Jahn, Uwe. Ausheilung Ionenimplantierter Siliciumkristalle Durch Bestrahlung Mit Laser Bzw. Elektronenimpulsen. 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Jahn, Uwe. Ausheilung Ionenimplantierter Siliciumkristalle Durch Bestrahlung Mit Laser Bzw. Elektronenimpulsen. 1982.
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