Untersuchungen zum Einsatz der Röntgentopographie in Kombination mit elektrischen Sondermesstechniken zur Charakterisierung elektronischer Eigenschaften prozessinduzierter Kristalldefekte im Silizium:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Brodersen Olaf (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1989
Schlagworte:
Beschreibung:113 Bl. Ill.

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