Oberflächenselektiver Dotierstoffeinbau im Materialsystem Ga In As P - InP bei der Verwendung von gasförmigen Dotierquellen in der MOMBE:
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Bibliographic Details
Main Author: Marheineke, Bastian 1967- (Author)
Format: Thesis Book
Language:German
Published: Aachen Shaker 1998
Edition:Als Ms. gedr.
Series:Berichte aus der Halbleitertechnik
Subjects:
Physical Description:142 S. graph. Darst.
ISBN:3826539680

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