Liebing, S. (1997). Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau einer PECVD-Anlage und Abscheidung von oxidischen Schichten.
Chicago Style (17th ed.) CitationLiebing, Stefan. Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau Einer PECVD-Anlage Und Abscheidung Von Oxidischen Schichten. 1997.
MLA (9th ed.) CitationLiebing, Stefan. Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau Einer PECVD-Anlage Und Abscheidung Von Oxidischen Schichten. 1997.
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