APA (7th ed.) Citation

Liebing, S. (1997). Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau einer PECVD-Anlage und Abscheidung von oxidischen Schichten.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Liebing, Stefan. Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau Einer PECVD-Anlage Und Abscheidung Von Oxidischen Schichten. 1997.

MLA (9th ed.) Citation

Liebing, Stefan. Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung: Aufbau Einer PECVD-Anlage Und Abscheidung Von Oxidischen Schichten. 1997.

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