Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Bayreuth
1996
|
| Subjects: | |
| Physical Description: | 93 S. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024805026 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100417s1996 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 96,H05,0613 |2 dnb | ||
| 035 | |a (OCoLC)75715432 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024805026 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-11 | ||
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Keudell, Achim von |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie |c von Achim von Keudell |
| 264 | 1 | |a Bayreuth |c 1996 | |
| 300 | |a 93 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Bayreuth, Univ., Diss., 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Kohlenwasserstoffe |0 (DE-588)4125165-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Kohlenwasserstoffe |0 (DE-588)4125165-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Amorpher Zustand |0 (DE-588)4306087-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Kohlenwasserstoffe |0 (DE-588)4125165-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Schichtwachstum |0 (DE-588)4273432-0 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Ellipsometrie |0 (DE-588)4152025-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019485291 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804141796850139136 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Keudell, Achim von |
| author_facet | Keudell, Achim von |
| author_role | aut |
| author_sort | Keudell, Achim von |
| author_variant | a v k av avk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024805026 |
| classification_rvk | UP 7550 |
| ctrlnum | (OCoLC)75715432 (DE-599)BVBBV024805026 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01795nam a2200481 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024805026</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100417s1996 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">96,H05,0613</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75715432</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024805026</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Keudell, Achim von</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie</subfield><subfield code="c">von Achim von Keudell</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Bayreuth</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">93 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bayreuth, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kohlenwasserstoffe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125165-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Kohlenwasserstoffe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125165-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Amorpher Zustand</subfield><subfield code="0">(DE-588)4306087-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Kohlenwasserstoffe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125165-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Schichtwachstum</subfield><subfield code="0">(DE-588)4273432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Ellipsometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152025-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019485291</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024805026 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:21:34Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019485291 |
| oclc_num | 75715432 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-11 |
| owner_facet | DE-11 |
| physical | 93 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| record_format | marc |
| spelling | Keudell, Achim von Verfasser aut Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie von Achim von Keudell Bayreuth 1996 93 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bayreuth, Univ., Diss., 1996 Kohlenwasserstoffe (DE-588)4125165-9 gnd rswk-swf Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd rswk-swf Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd rswk-swf Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Kohlenwasserstoffe (DE-588)4125165-9 s Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 s Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 s DE-604 |
| spellingShingle | Keudell, Achim von Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie Kohlenwasserstoffe (DE-588)4125165-9 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4125165-9 (DE-588)4273432-0 (DE-588)4306087-0 (DE-588)4152025-7 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie |
| title_auth | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie |
| title_exact_search | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie |
| title_full | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie von Achim von Keudell |
| title_fullStr | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie von Achim von Keudell |
| title_full_unstemmed | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie von Achim von Keudell |
| title_short | Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie |
| title_sort | wachstumsmechanismen bei der plasmagestutzten abscheidung von kohlenwasserstoffschichten eine in situ ellipsometriestudie |
| topic | Kohlenwasserstoffe (DE-588)4125165-9 gnd Schichtwachstum (DE-588)4273432-0 gnd Amorpher Zustand (DE-588)4306087-0 gnd Ellipsometrie (DE-588)4152025-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd |
| topic_facet | Kohlenwasserstoffe Schichtwachstum Amorpher Zustand Ellipsometrie PECVD-Verfahren Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT keudellachimvon wachstumsmechanismenbeiderplasmagestutztenabscheidungvonkohlenwasserstoffschichteneineinsituellipsometriestudie |