Grenzflächen- und Materialeigenschaften von Al03203Ga03207As/InxGa1326xAs/GaAs- Heterostrukturen:
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| Format: | Thesis Book |
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| Published: |
Aachen
Shaker
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Reihe Physik
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG .1
1. EINLEITUNG.3
2. WACHSTUM VON AL
0JGA0 7AS/INJIGA1_J[AS/GAAS HETEROSTRUKTUREN.
6
2.1 EPITAXIE.6
2.1.1 PRINZIP DER MOLEKULARSTRAHL-EPITAXIE.6
2.1.2 PROBENPRAEPARATION .8
2.1.3 WACHSTUMSMODELL FUER GAAS .9
2.1.4 SCHICHTDICKENKONTROLLE DER EPITAXIERTEN STRUKTUREN . 11
2.2 CHARAKTERISIERUNG .19
2.2.1 HALL EFFEKT.20
2.2.2 KATHODOLUMINESZENZ.20
2.3 SCHICHTAUFBAU DER UNTERSUCHTEN HETEROSTRUKTUREN.21
2.3.1 HEMT STRUKTUR.21
2.3.2 INVERSE HEMT STRUKTUR.25
2.4 KRITISCHE SCHICHTDICKE VON IN
XGAL XAS.26
2.4.1 THEORIE.27
2.4.2 EXPERIMENTELLE BESTIMMUNG.32
2.4.2.1 HALL EFFEKT-MESSUNGEN.34
2.4.2.2 KATHODOLUMINESZENZMESSUNGEN.36
2.4.3 VERGLEICH THEORIE-EXPERIMENT .38
2.5 WACHSTUMSMODEN FUER IR^GA^^AS .39
2.5.1 UNTERSCHIEDLICHE WACHSTUMSMODEN.39
2.5.2 AUSWIRKUNG DES WACHSTUMSMODES AUF DIE
KRITISCHE SCHICHTDICKE .43
2.5.3 PRINZIPIELLE UNTERSCHIEDE VON HEMT UND
INVERSEN HEMT STRUKTUREN.45
2.5.3.1 ZWEIDIMENSIONALES WACHSTUM.46
2.5.3.2 DREIDIMENSIONALES WACHSTUM .49
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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3
. BAUELEMENT-RELEVANTE EIGENSCHAFTEN VON AL^GA,, 7AS/INXGAL XAS
HETEROSTRUKTUREN.53
3.1 DISKUSSION DER WACHSTUMSTEMPERATUR .53
3.2 OPTIMIERUNG DER LEITFAEHIGKEIT.56
3.2.1 OPTIMIERUNG DER LADUNGSTRAEGERKONZENTRATION.56
3.2.1.1 EINFLUSS DER INXGA1_XAS QW BREITE.56
3.2.1.2 EINFLUSS DES INDIUMGEHALTES DER SCHICHTEN . 58
3.2.2 OPTIMIERUNG DER BEWEGLICHKEIT.60
3.2.3 DISKUSSION DER ERGEBNISSE.62
3.3 BAUELEMENTEIGENSCHAFTEN.63
4. ANISOTROPIEN IN DER ELEKTRONENBEWEGLICHKEIT VON AL, ,GA
N ,AS/IN GA. AS
HETEROSTRUKTUREN. YY66
4.1 ANISOTROPIE VON INVERSEN AL
03GA07AS/INXGAL XAS
HEMT STRUKTUREN .68
4.1.1 HALL EFFEKT-MESSUNGEN.68
4.1.2 KATHODOLUMINESZENZMESSUNGEN .71
4.1.3 DISKUSSION DER MESSERGEBNISSE .71
4.1.4 TEMPERATURABHAENGIGE WIDERSTANDSMESSUNGEN.73
4.1.4.1 MESSUNGEN .73
4.1.4.2 BARRIEREN-MODELL.75
4.1.4.3 VERGLEICH DES MODELLS MIT DEN
EXPERIMENTELLEN ERGEBNISSEN . 77
4.1.5 INVERSE N- UND P-LEITENDE HEMT STRUKTUREN.80
4.2 ANISOTROPIE VON HEMT STRUKTUREN.83
4.2.1 HALL EFFEKT-MESSUNGEN.83
4.2.2 DISKUSSION . 87
4.2.3 ASYMMETRISCHES DREIDIMENSIONALES WACHSTUM.88
5. SCHLUSS UND AUSBLICK.
6. LITERATURVERZEICHNIS . |
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