APA (7th ed.) Citation

Heuberger, A. (1989). Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden d. Halbleitertechnologie. Springer.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Heuberger, Anton. Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden D. Halbleitertechnologie. Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo: Springer, 1989.

MLA (9th ed.) Citation

Heuberger, Anton. Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden D. Halbleitertechnologie. Springer, 1989.