Heuberger, A. (1989). Mikromechanik: Mikrofertigung mit Methoden d. Halbleitertechnologie. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Heuberger, Anton. Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden D. Halbleitertechnologie. Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo: Springer, 1989.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Heuberger, Anton. Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden D. Halbleitertechnologie. Springer, 1989.
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