Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren:
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Bibliographic Details
Main Author: Müller, André (Author)
Format: Thesis Book
Language:Undetermined
Published: Karlsruhe Kernforschungszentrum 1996
Edition:Als Ms. gedr.
Subjects:
Physical Description:94 S. Ill., graph. Darst.

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