Der Antastprozess von Mikrotastern bei dimensionellen Messungen:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Bremerhaven
Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wiss.
2005
|
| Series: | PTB-Bericht : Wissenschaftliche Veröffentlichungen : Fertigungsmesstechnik
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| adam_text | PHYSIKALISCH-TECHNISCHE BUNDESANSTALT FERTIGUNGSMESSTECHNIK PTB-F-51
BRAUNSCHWEIG, OKTOBER 2005 SHIZHI CAO* DER ANTASTPROZESS VON
MIKROTASTERN BEI DIMENSIONEILEN MESSUNGEN VON DER GEMEINSAMEN FAKULTAET
FUER MASCHINENBAU UND ELEKTROTECHNIK DER TECHNISCHEN UNIVERSITAET
CAROLO-WILHELMINA ZU BRAUNSCHWEIG ZUR ERLANGUNG DER WUERDE EINES
DOKTOR-INGENIEURS (DR.-ING.) GENEHMIGTE DISSERTATION EINGEREICHT AM 5.
OKTOBER 2004 MUENDLICHE PRUEFUNG AM 14. JANUAR 2005 REFERENTEN: PROF. DR.
RER. NAT. S. BUETTGENBACH PROF. DR. RER. NAT. M. SCHILLING PROF. DR.-ING.
S. BOEHM * HEBEI, V. R. CHINA ISSN 0179-0609 ISBN 3-86509-432-5
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 MESSTECHNIK FUER MIKROSTRUKTUREN 4
2.1 OPTISCHE/ELEKTRONENMIKROSKOPIE - 2D-MESSVERFAHREN 4 2.2 *2 1 / 2
D-MESSVERFAHREN 5 2.2.1 INTERFERENZMIKROSKOPIE 6 2.2.2 KONFOKALE
MIKROSKOPIE 7 2.2.3 RASTERSONDENMIKROSKOPIE 9 2.3
MIKRO-KOORDINATENMESSMASCHINEN (U-KMG) 10 3 3D-MIKROTASTSYSTEME 15 3.1
2-DIMENSIONALE SENSOREN 16 3.2 3-DIMENSIONALE SENSOREN 20 3.3 EIN NEUER
PROTOTYP EINES 3-DIMENSIONALEN MIKRO-TASTSYSTEMS...23 3.3.1 MESSUNG DER
MEMBRANVERFORMUNG - DAS PRINZIP DES DMS 24 3.3.2 DER PROTOTYP EINES
3D-MIKROTASTSYSTEMS 32 4 MIKRO-KALIBRIERSYSTEM 45 4.1 AUFBAU DES
MIKRO-KALIBRIERSYSTEMS 46 4.1.1 GROBTISCH 47 4.1.2 FEINTISCH 48 4.1.3
DREHTISCH 49 4.1.4 MESSRAHMEN 49 4.1.5 DER AUFBAU DER
LASERINTERFEROMETER 52 4.2 DAS STEUERUNGS- UND DATENERFASSUNGSSYSTEM 61
4.3 METROLOGISCHE EIGENSCHAFTEN DES MIKRO-KALIBRIERSYSTEMS 63 4.3.1
GENAUIGKEIT DES LASERINTERFEROMETERS 63 4.3.2 POSITIONSGENAUIGKEIT DES
TISCHES 64 4.3.3 UEBERSCHWINGVERHALTEN 67 4.3.4 KOSINUSFEHLER 68 4.3.5
LANGZEITSTABILITAET 72 4.3.6 EBENHEIT DES MESSSPIEGELS 72 4.4
ZUSAMMENFASSUNG 74 5 WECHSELWIRKUNGSKRAEFTE ZWISCHEN ANTASTKUGEL UND
MESSOBJEKT 75 5.1 VAN DER WAALS-KRAEFTE ZWISCHEN TASTKUGEL UND
ANTASTOBJEKT 71 5.2 ELEKTROSTATISCHE KRAEFTE 81 5.3 FLUESSIGKEITSBRUECKEN
83 5.4 FESTSTOFFBRUECKEN 89 6 UNTERSUCHUNG EINES 3D-MIKROTASTSYSTEMS 91
6.1 EINFLUESSE DES TASTSTIFTES 91 6.2 EINFLUESSE DER TASTKUGEL 98 6.3
VERFORMUNG ZWISCHEN TASTKUGEL UND MESSOBJEKT 99 6.4 EINFLUESSE DER
ANTASTRICHTUNG 102 6.5 ANTASTHYSTERESE UND LINEARITAET 103 6.6 STABILITAET
DES ANTASTPUNKTES 105 6.7 2-DIMENSIONALE MESSUNGEN IN DER XY-EBENE 108
6.8 ZUSAMMENFASSUNG 112 7 ZUSAMMENFASSUNG 114 LITERATURVERZEICHNIS 118
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