Herstellung und Charakterisierung kovalent gebundener Ein- und Viellagenschichten aus dem System B-C-N-Si:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
FZKA
2004
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
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| adam_text | FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE IN DER HELMHOLTZ-GEMEINSCHAFT
WISSENSCHAFTLICHE BERICHTE FZKA 6902 HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG
KOVALENT GEBUNDENER EIN- UND VIELLAGENSCHICHTEN AUS DEM SYSTEM B-C-N-SI
MARTINA LATTEMANN INSTITUT FUER MATERIALFORSCHUNG VON DER FAKULTAET FUER
MASCHINENBAU DER UNIVERSITAET KARLSRUHE (TH) GENEHMIGTE DISSERTATION
HLUHB DARMSTADT 15963786 KARLSRUHE GMBH, KARLSRUHE 2004
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG UND AUFGABENSTELLUNG 1 2 GRUNDLAGEN UND
LITERATURUEBERSICHT 5 2.1 DAS SYSTEM B-C-N-SI 5 2.1.1 SILIZIUMNITRID 7
2.1.1.1 MODIFIKATIONEN, EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN 7 2.1.1.2
HERSTELLUNG VON SI 3 N 4 _ :R :H MITTELS CVD-VERFAHREN .... 8 2.1.1.3
HERSTELLUNG VON SI 3 N 4 _ A; MITTELS PVD-VERFAHREN 10 2.1.2
SILIZIUMCARBID 11 2.1.2.1 MODIFIKATIONEN, EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN
11 2.1.2.2 HERSTELLUNG VON SIC X :H MITTELS CVD-VERFAHREN 12 2.1.2.3
HERSTELLUNG VON SIC X MITTELS PVD-VERFAHREN 12 2.1.3 BORCARBID 15
2.1.3.1 MODIFIKATIONEN, EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN 15 2.1.3.2
HERSTELLUNG VON B 4 _ A; C MITTELS CVD-VERFAHREN 17 2.1.3.3 HERSTELLUNG
VON 64-^ MITTELS PVD-VERFAHREN 17 2.1.4 KONZEPT DER VIELLAGENSCHICHTEN
18 2.2 PVD-BESCHICHTUNGSVERFAHREN 22 2.2.1 PLASMAPHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN 22 2.2.2 FEST KOER PER ZERSTAEUBUNG 26 2.2.3 PRINZIP DER
MAGNETRONZERSTAEUBUNG 27 2.2.4 PHASENBILDUNG UND MORPHOLOGIE 30 2.2.4.1
SUBPLANTATIONSMODELL 30 2.2.4.2 STRUKTURZONENMODELL 31 3
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG UND EXPERIMENTELLE METHODEN 35 3.1 SCHICHT
ABSCHEIDUNG 35 3.1.1 SUBSTRATWERKSTOFFE UND SUBSTRATVORBEHANDLUNG 35 11
INHALTSVERZEICHNIS 3.1.2 ANLAGENKONFIGURATION 36 3.1.3 VERSUCHSPLAN 37
3.2 UNTERSUCHUNG DER SCHICHTKONSTITUTION 39 3.2.1
AUGER-ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE 39 3.2.2 ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE 42 3.2.3
ROENTGENREFLEKTIVITAET 43 3.2.4
FOURIER-TRANSFORMATIONS-INFRAROTSPEKTROSKOPIE 44 3.2.5
RAMAN-SPEKTROSKOPIE 45 3.2.6 HOCHAUFLOESENDE
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE 46 3.2.7 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
46 3.3 MESSUNG DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN 47 3.3.1 SCHICHTDICKENBESTIMMUNG
47 3.3.1.1 OBERFLAECHENPROFILOMETER 47 3.3.1.2 KALOTTENSCHLIFF 48 3.3.2
MESSUNG DER MECHANISCHEN EIGENSCHAFTEN 49 3.3.2.1 MIKROHAERTE UND
ELASTIZITAETSMODUL 49 3.3.2.2 EIGENSPANNUNG DER SCHICHTEN 51 3.3.3
ERMITTLUNG DER OBERFLAECHENRAUHEIT 53 3.4 UNTERSUCHUNG DES VERHALTENS 53
3.4.1 TRIBOLOGISCHE UNTERSUCHUNGEN 53 3.4.2 BESTIMMUNG DER
HAFTFESTIGKEIT 55 4 VERSUCHSERGEBNISSE 57 4.1 EINLAGENSCHICHTEN:
HERSTELLUNG UND OPTIMIERUNG - KONSTITUTION UND EI- GENSCHAFTEN 57 4.1.1
SILIZIUMNITRID-EINLAGENSCHICHTEN 57 4.1.1.1 SCHICHTKONSTITUTION 59
4.1.1.2 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 64 4.1.1.3 MECHANISCHES VERHALTEN 68 4.1.2
SILIZIUMCARBID-EINLAGENSCHICHTEN 72 4.1.2.1 AUFWACHSRATE 72 4.1.2.2
SCHICHTKONSTITUTION 72 4.1.2.3 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 80 4.1.2.4
SCHICHTVERHALTEN 82 4.1.3 BORCARBID-EINLAGENSCHICHTEN 87 4.1.3.1
AUFWACHSRATE 87 LLTSVERZEICHNIS 111 4.1.3.2 SCHICHTKONSTITUTION 87
4.1.3.3 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 90 4.1.3.4 SCHICHTVERHALTEN 92 4.2
VIELLAGENSCHICHTEN: EINFLUSS DER LAGENZAHL AUF KONSTITUTION UND EIGEN-
SCHAFTEN 95 4.2.1 SI 3 N 4 /SIC- VIELLAGENSCHICHTEN 95 4.2.1.1
SCHICHTKONSTITUTION 95 4.2.1.2 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 100 4.2.1.3
SCHICHTVERHALTEN 102 4.2.2 SI 3 N 4 /B 4 C-VIELLAGENSCHICHTEN 105
4.2.2.1 SCHICHTKONSTITUTION 105 4.2.2.2 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 109 4.2.2.3
SCHICHTVERHALTEN 112 4.2.3 SIC/B 4 C-VIELLAGENSCHICHTEN 115 4.2.3.1
SCHICHTKONSTITUTION 115 4.2.3.2 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 118 4.2.3.3
SCHICHTVERHALTEN 121 5 DISKUSSION 125 5.1 EINLAGENSCHICHTEN 125 5.1.1
AUFBAU DER EINLAGENSCHICHTEN 125 5.1.1.1 SILIZIUMNITRID 125 5.1.1.2
SILIZIUMCARBID 127 5.1.1.3 BORCARBID 129 5.1.2 EIGENSCHAFTEN DER
EINLAGENSCHICHTEN 129 5.1.2.1 SILIZIUMNITRID 130 5.1.2.2 SILIZIUMCARBID
133 5.1.2.3 BORCARBID 136 5.1.3 MECHANISCHES VERHALTEN DER
EINLAGENSCHICHTEN 138 5.2 VIELLAGENSCHICHTEN 139 5.2.1 AUFBAU DER
VIELLAGENSCHICHTEN 139 5.2.2 EIGENSCHAFTEN DER VIELLAGENSCHICHTEN 143
5.2.2.1 EIGENSPANNUNGEN - VIELLAGENSCHICHTEN 143 5.2.2.2 MIKROHAERTE -
VIELLAGENSCHICHTEN 148 5.2.3 MECHANISCHES VERHALTEN DER
VIELLAGENSCHICHTEN 156 6 ZUSAMMENFASSUNG 159
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