Paduschek, P. (1982). Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Paduschek, Peter. Einbau Von Wasserstoff in Aus Der Plasmaphase Abgeschiedenen Schichten Auf Siliziumbasis Und Dessen Einfluß Auf Mechanische Schichtparameter. München, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Paduschek, Peter. Einbau Von Wasserstoff in Aus Der Plasmaphase Abgeschiedenen Schichten Auf Siliziumbasis Und Dessen Einfluß Auf Mechanische Schichtparameter. 1982.
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