APA (7th ed.) Citation

Burbaum, C., & Mohr, J. (1991). Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik (Als Ms. gedr.). Kernforschungszentrum.

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Burbaum, Christoph, and Jürgen Mohr. Herstellung Von Mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik. Als Ms. gedr. Karlsruhe: Kernforschungszentrum, 1991.

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Burbaum, Christoph, and Jürgen Mohr. Herstellung Von Mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik. Als Ms. gedr. Kernforschungszentrum, 1991.