Chen, F. F., & Chang, J. P. (2003). Lecture notes on principles of plasma processing. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Chen, Francis F., und Jane P. Chang. Lecture Notes on Principles of Plasma Processing. New York: Springer, 2003.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Chen, Francis F., und Jane P. Chang. Lecture Notes on Principles of Plasma Processing. Springer, 2003.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.