Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile: Strategiefondsprojekt der Hermann-von-Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren ; Abschlußpräsentation am 23. Oktober 2001 im Forschungszentrum Karlsruhe
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Karlsruhe
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2001
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