Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile Strategiefondsprojekt der Hermann-von-Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren ; Abschlußpräsentation am 23. Oktober 2001 im Forschungszentrum Karlsruhe - Zum Gahr, Karl-Heinz 1943- (FZKA, 2001)