Achenbach, S., Pantenburg, F. J., & Mohr, J. (2000). Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL) (Als Ms. gedr.). FZKA.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Achenbach, S., F. J. Pantenburg, und Jürgen Mohr. Optimierung Der Prozeßbedingungen Zur Herstellung Von Mikrostrukturen Durch Ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL). Als Ms. gedr. Karlsruhe: FZKA, 2000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Achenbach, S., et al. Optimierung Der Prozeßbedingungen Zur Herstellung Von Mikrostrukturen Durch Ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL). Als Ms. gedr. FZKA, 2000.
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