Ruhnau, U. (1997). Epitaktisches Wachstum von Beta-SiC-Schichten auf Siliziumsubstraten durch chemische Gasphasenabscheidung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ruhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ruhnau, Ulrich. Epitaktisches Wachstum Von Beta-SiC-Schichten Auf Siliziumsubstraten Durch Chemische Gasphasenabscheidung. 1997.
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