Kohlmann-von Platen, K. (1996). Charakterisierung der elektroneninduzierten Wolframabscheidung für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Kohlmann-von Platen, Klaus. Charakterisierung Der Elektroneninduzierten Wolframabscheidung Für Anwendungen in Der Mikrosystemtechnik. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Kohlmann-von Platen, Klaus. Charakterisierung Der Elektroneninduzierten Wolframabscheidung Für Anwendungen in Der Mikrosystemtechnik. 1996.
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