Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt
5561 |
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| Beschreibung: | 118 S. Ill., graph. Darst. |
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