(1993). Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern (Als Ms. gedr.).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Abformung Von Mikrostrukturen Auf Prozessierten Wafern. Als Ms. gedr. Karlsruhe, 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Abformung Von Mikrostrukturen Auf Prozessierten Wafern. Als Ms. gedr. 1993.
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