Riethmüller, W. (1995). Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2 Mym CMOS Prozeß (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Riethmüller, Werner. Entwicklung Eines Prozesses Zur Monolithischen Integration Piezoresistiver Beschleunigungssensoren in Einem Kommerziellen 2 Mym CMOS Prozeß. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Riethmüller, Werner. Entwicklung Eines Prozesses Zur Monolithischen Integration Piezoresistiver Beschleunigungssensoren in Einem Kommerziellen 2 Mym CMOS Prozeß. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1995.
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