(1995). Handbook of thin film process technology. Inst. of Physics Publ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Handbook of Thin Film Process Technology. Bristol u.a: Inst. of Physics Publ, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Handbook of Thin Film Process Technology. Inst. of Physics Publ, 1995.
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