(1995). Mikrosystemtechnik Chemnitz '95: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz ; [2. Chemnitzer Fachtagung]. Techn. Univ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mikrosystemtechnik Chemnitz '95: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz ; [2. Chemnitzer Fachtagung]. Chemnitz: Techn. Univ, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mikrosystemtechnik Chemnitz '95: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz ; [2. Chemnitzer Fachtagung]. Techn. Univ, 1995.
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