Mikrosystemtechnik Chemnitz '99:
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Chemnitz
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
1999
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SYSTEM 4. CHEMNITZER FACHTAGUNG MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 11./12.
OKTOBER 1999 UB/T1B HANNOVER 8S 119 819 732 INHALTSVERZEICHNIS SEITE
SESSION 1 - APPLIKATIONEN, KOMPONENTEN LEITUNG: R. HAGELAUER, P. -C.
ECCARDT 1-1 MIKROMECHANISCHER DURCHFLUFISENSORFUR KLEINSTE FLUFIRATEN 1
JOSWIG, J. 1 ; SEIFERT, S. 1 ; URBAN, G. 2 1 FORDERVEREIN INSTITUT FIIR
MEDIZINTECHNIK DRESDEN E.V.; ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITAT FREIBURG 1-2
ABSTIMMBARE RESONANTE SENSORARRAYS IN OBERFLDCHENNAHER SI-BULK
-MIKROMECHANIK 5 WIBBELER, J.; STEINIGER, C; WOLF, K.; SYMANZIK, H.;
MEHNER, J.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK 1-3 MIKROSPALTZEILEN ALS SPATIAL LIGHT MODULATORS 11
SEIFERT, T.; RIESENBERG, R. INSTITUT FIIR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE
JENA 1-4 INFRAROT-SZENEN-PROJEKTION MIT RDUMLICHEN LICHTMODULATOREN 1 5
SCHUBERT, M.; RIESENBERG, R. INSTITUT FIIR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE
JENA 1-5 TEMPERATURREGELUNG AN MIKROKANALKIIHLERN AM BEISPIEL VON
HOCHLEISTUNGSDIODENLASERN 19 UNGER, K. 1 ; LORENZEN, D. 2 ; MIILLER D. 1
; DAIMINGER, F. 2 1 TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK; 2 JENOPTIK LASERDIODE GMBH JENA 1-6 ENTWICKLUNG VON
MIKROSYSTEMEN ZUR DURCHFIIHRUNG VON EXPERIMENTEN AN BELADENEN 28
MOLEKULARSIEB-EINZELKRISTALLEN LOSSAU, O.; KLOTZBIICHER, T.; LIMBURG,
B.; BAUER, H.-D.; MICHEL, F.; EHRFELD, W. INSTITUT FIIR MIKROTECHNIK
MAINZ GMBH 1-7 MIKROMECHANISCHER POSITIONSSENSOR 33 AHL, E.; MANTHEY,
W.; WOLF, K. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK SESSION 2 - ENTWURF, SIMULATION, MODELLIERUNG
LEITUNG: P. SCHWARZ 2-1 FEM-BASIERTE GENERIERUNG VON VERHALTENSMODELLEN
39 HAASE, J.; REITZ, S.; SCHWARZ, P. FRAUNHOFER IIS/EAS DRESDEN 2-2
UNTERSUCHUNGEN ZUR INVERSEN DYNAMIK VON ELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMEN AM
45 BEISPIEL EINES 2D-MIKROSPIEGELS ENGE, O.; MAIBER, P.; JUNGNICKEL, U.;
KIELAU, G. INSTITUT FIIR MECHATRONIK E.V. AN DER TU CHEMNITZ 2-3
EMPFINDLICHKEITS- UND RAUSCHANLYSE EINES KAPAZITIVEN MIKROFONS IN
BICMOS-TECHNOLOGIE 51 FULDNER, M. 1 ; DEHE, A. 1 ; AIGNER, R. 1 ; BEVER,
T. 2 ; LERCH, R. 3 ; KALTENBACHER, M. 3 1 INFINEON TECHNOLOGIES,
CORPORATE RESEARCH, MIINCHEN; 2 INFINEON TECHNOLOGIES, GAAS & SENSORS,
MIINCHEN; 3 UNIVERSITAT ERLANGEN/NIIRNBERG II 2-4 IMPROVED MICROMACHINED
TRANSDUCER DESIGN FOR MINIMIZED GENERATION OF 55 LAMB WAVES AND HARMONIC
DISTORTION BASED ON NEW METHODS OF MODELING ECCARDT, P.-C. 1 ; NIEDERER,
K. 1 2 ; MEIXNER, H. 1 ; LERCH, R. 2 1 SIEMENS AG, ZT KM2; 2 JOHANNES
KEPLER UNIVERSITAT LINZ SESSION 3 - MEBTECHNIK LEITUNG: H.-R. TRANKLER
3-1 LASEROPTISCHE DEFORMATIONSUNTERSUCHUNGEN AN MIKROMECHANISCH
REALISIERTEN 61 ULTRASCHALLWANDLER -ARRAYS DABLER, H.; MANTHEY, W.;
THIEME, L. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK 3-2 NOISE CHARACTERIZATION OF CMOS HALL SENSORS 65
HOHE, H.-P.; WEBER, N.; SEITZER, D. FRAUNHOFER IIS-A ERLANGEN 3-3
EXPERIMENTELLE CHARAKTERISIERUNG VON MIKROSPIEGELARRAYS 69 KURTH, S. 1 ;
FAUST, W. 2 ; KEHR, K. 1 ; HAHN, R. 1 ; KAUFMANN, C. 1 ; MICHEL, B. 2 ;
DOTZEL, W. 1 1 TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK; 2 FRAUNHOFER IZM BERLIN UND CHEMNITZ 3-4
ELEKTRONISCHE AUSLESUNG VON MIKROMECHANISCHEN SCHWINGSTRUKTUREN IN 77
SCREAM TECHNOLOGIE SYMANZIK, H.-G.; SCHLEGEL, C. TU CHEMNITZ, FAKULTAT
FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK SESSION 4 - WERKSTOFFE
LEITUNG: B. MICHEL 4-1 EINIGE ZUVERLDSSIGKEITSASPEKTE MODERNER
MIKROSYSTEME 81 GROBER, V. 1 ; MICHEL, B. 1 ; REICHL, H. 1 ;
SCHIINEMANN, M. 2 1 FRAUNHOFER IZM BERLIN UND CHEMNITZ; 2 FRAUNHOFER IPA
STUTTGART 4-2 MIKROSTRUKTURIERTE GLASBAUTEILE * HERSTELLUNG UNDANWENDUNG
88 KUCERA, U.; SCHMIDT, J.; HARNISCH, A.; STRAUBE, B.; HIILSENBERG, D.;
KALLENBACH, E.; FEINDT, K.; ZOPPIG, V. TU ILMENAU, FAKULTAT FIIR
MASCHINENBAU 4-3 BIOKOMPATIBILITDT DER FUNKTIONSWERKSTOFFE GLAS UND
SILICIUM 93 UHLEMANN, J.; FREYER, R.; KIIHNEL, T.; STRELLER, U.; TOPFER,
E. TU DRESDEN, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK, INST. F. BIOMEDIZINISCHE
TECHNIK 4-4 ERHOHUNG DER ZUVERLDSSIGKEIT VON MIKROSYSTEM-KOMPONENTEN
DURCH EINEN 101 OPTIMALEN WERKSTOFFEINSATZ MICHEL, B.; FAUST, W.; DUDEK,
R. FRAUNHOFER IZM BERLIN UND CHEMNITZ 4-5 ANWENDUNG DER PLASTISCHEN
VERFORMUNG ZUR GESTALTUNG VON SI - MIKROSTRUKTURELEMENTEN 104 UND DEREN
EIGENSCHAFTEN GARTNER, E.; FRIIHAUF, J.; JANSCH, E. TU CHEMNITZ,
FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK III SESSION 5 -
TECHNOLOGIE LEITUNG: T. GEBNER 5-1 CMOS-KOMPATIBLE HERSTELLUNG
MINIATURISIERTER SILICIUM-VIBRATIONSSENSOREN FUR DIE 110 MESSUNG IM
BEREICH HOHER BESCHLEUNIGUNGSAMPLITUDEN ZUR WERKZEUGIIBERWACHUNG THOMAS,
J. 1 ; SCHNUPP, R. 1 ; RYSSEL, H. 12 1 FRAUNHOFER IIS ERLANGEN, BEREICH
BAUELEMENTETECHNOLOGIE; 2 UNIVERSITAT ERLANGEN/NIIRNBERG 5-2 KAPAZITIVER
DREHRATESENSOR AUFDER BASIS EINER STIMMGABEL MIT GEKOPPELTEN RESONATOREN
11 4 WIEMER, M. 1 ; HILLER, K. 2 ; BILLEP, D. 2 ; GEBNER, T. 2 ; RYRKO,
B. 3 ; BRENG, U. 3 ; ZIMMERMANN, S. 3 ; GUTMANN, W. 3 1 FRAUNHOFER IZM
CHEMNITZ 2 TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK; 3 LITEF GMBH FREIBURG; 5-3 ANWENDUNG VON
NIEDERTEMPERATUR-BONDVERFAHRENFUR DIE HERSTELLUNG VON 123
MICROSCANNER-ARRAYS HOHER FREQUENZ HILLER, K. 2 ; WIEMER, M. 1 ; HAHN,
R. 2 ; KAUFMANN, C. 2 ; KURTH, S. 2 ; KEHR, K. 2 ; GEBNER, T. 2 ;
DOTZEL, W. 2 1 FRAUNHOFER IZM CHEMNITZ; 2 TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR
ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK 5-4 RAPID PROTOTYPING IN DER
MIKROSYSTEMTECHNIK 132 HANEMANN, T.; PFLEGING, W. FORSCHUNGSZENTRUM
KARLSRUHE GMBH, INSTITUT FIIR MATERIALFORSCHUNG POSTERBEITRAGE PI
ENTWICKLUNG FLEXIBLER MIKROROBOTER ZUR HANDHABUNG VON MIKROOBJEKTEN 138
FATIKOW, S.; SEYFRIED, J.; FAHLBUSCH, S.; BIIRKLE, A.; SCHMOECKEL, F.
UNIVERSITAT KARLSRUHE, FAKULTAT FUR INFORMATIK P2 EINRICHTUNG FUR DIE
THERMISCHE BELASTUNG ZUR LOKALEN MATERIALKENNWERTERMITTLUNG 144 AN
MIKROKOMPONENTEN DOST, M. 1 ; VOGEL, J. 1 ; GROBER, V. 2 ; DORING, R. 1
; SEILER, B. 1 ; SOMMER, J.-P. 12 ; MICHEL, B. 2 1 CHEMNITZER
WERKSTOFFMECHANIK GMBH; 2 FRAUNHOFER IZM BERLIN UND CHEMNITZ P3
VERBESSERTE LEISTUNGSMERKMALE BEI DER BRANDFRUHERKENNUNG DURCH
GASSENSORIK 150 MIT LERNFDHIGER SIGNALVERARBEITUNG DERBEL, F.; TRANKLER,
H.-R. UNIVERSITAT DER BUNDESWEHR MIINCHEN, INSTITUT FIIR MEB- UND
AUTOMATISIERUNGSTECHNIK ET8 P4 PARAMETEREXTRAKTION FIIR MIKROSYSTEME AM
BEISPIEL EINES GYROSKOPES 156 VOIGT, P.; SATTLER, R.; SASSE, P. 1 ;
HOFFMANN, S. 1 ; NOE, R. 1 ; WACHUTKA, G. TU MIINCHEN, LEHRSTUHL FIIR
TECHNISCHE ELEKTROPHYSIK; 1 UNIVERSITAT PADERBORN, OPTISCHE
NACHRICHTENTECHNIK UND HF-TECHNIK P5 MIKROSTRUKTURIERUNG METALLISCHER
BAUTEILE DURCH PRDGEN 160 SCHUBERT, A.; BOHM, T.; BURKHARDT, T.
FRAUNHOFER IWU CHEMNITZ IV P6 EXTENDING SPECKLE PATTERN INTERFEROMETRY
FOR USE ON A MICROSCOPIC SCALE 164 ASWENDT, P. 1 ; HOFLING, R. 1 ;
HILLER, K. 2 ; WIEMER, M. 2 1 FRAUNHOFER IWU CHEMNITZ; 2 TU CHEMNITZ,
FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK P7 EINFLUFI
ZUFDLLIGER FEHLER AUFDEN MIXED-SIGNAL-ALGORITHMUS FUR DIE
DIFFERENTIATION 171 FERCHLAND, T. 1 ; BOCHE, H. 2 ; FISCHER, J. 3 ;
SCHREIBER, H. 4 1 TU DRESDEN, INSTITUT FUR GRUNDLAGEN DER
ELEKTROTECHNIK; 2 HEINRICH-HERTZ-INSTITUT FUR NACHRICHTENTECHNIK BERLIN
GMBH; 3 TU DRESDEN, INSTITUT FIIR NACHRICHTENTECHNIK; 4 TU DRESDEN,
INSTITUT FIIR GRUNDLAGEN DER DER ELEKTROTECHNIK UND ELEKTRONIK P8
UNTERSUCHUNGEN ZUR HERSTELLUNG VON LATERALEN TASTNADELN FIIR DIE
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE 177 KNOFLER, R.; BERTZ, A.; WOLF, K.; KUCHLER,
M.; GEBNER, T. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK P9 BESTIMMUNG VON MATERIALEIGENSCHAFTEN FUR
MIKROSTRUKTUREN 182 SCHROTER, B.; MEHNER, J.; KEHR, K.; HIIHNERFURST,
A.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ, FAKULTAT FIIR ELEKTROTECHNIK UND
INFORMATIONSTECHNIK
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