Nonogaki, S., Ueno, T., & Ito, T. (1998). Micolithography fundamentals in semiconductor devices and fabrication technology. Dekker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Nonogaki, Saburo, Takumi Ueno, und Toshio Ito. Micolithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology. New York [u.a.]: Dekker, 1998.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Nonogaki, Saburo, et al. Micolithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology. Dekker, 1998.
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