Stolarek, D. (2007). Auflösungserhöhung in der Photolithographie durch Doppelbelichtung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Stolarek, David. Auflösungserhöhung in Der Photolithographie Durch Doppelbelichtung. Wildau, 2007.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Stolarek, David. Auflösungserhöhung in Der Photolithographie Durch Doppelbelichtung. 2007.
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