(1999). Microsystems metrology and inspection: 15 - 16 June 1999, Munich, Germany. SPIE Optical Engineering Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Microsystems Metrology and Inspection: 15 - 16 June 1999, Munich, Germany. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Pr, 1999.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Microsystems Metrology and Inspection: 15 - 16 June 1999, Munich, Germany. SPIE Optical Engineering Pr, 1999.
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