(1982). EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'. JENA, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'. 1982.
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