APA (7th ed.) Citation

(1982). EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'.

Chicago Style (17th ed.) Citation

EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'. JENA, 1982.

MLA (9th ed.) Citation

EINFUEHRENDE BEITRAEGE ZUR MIKROLITHOGRAFIE: TAGUNGSBAND D. FRUEHJAHRSSCHULE 'ELEKTRONENLITHOGRAFIE'. 1982.

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