APA (7th ed.) Citation

Streller, U. (1997). Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett (1. Aufl.). Wissenschaft und Technik Verl.

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Streller, Udo. Mikrostrukturierung Von Silizium Mittels Lichtinduziertem Trockenätzen Im Vakuumultraviolett. 1. Aufl. Berlin: Wissenschaft und Technik Verl, 1997.

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Streller, Udo. Mikrostrukturierung Von Silizium Mittels Lichtinduziertem Trockenätzen Im Vakuumultraviolett. 1. Aufl. Wissenschaft und Technik Verl, 1997.