Treibmittel-Vakuumpumpe in Mikrosystemtechnik:
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| Format: | Thesis Book |
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| Published: |
München
Verl. Dr. Hut
2008
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| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Ingenieurwissenschaften
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ZIELE DER ARBEIT 4 1.3 FUNKTIONSWEISE VON TREIBMITTELPUMPEN 4 1.4
KONZEPT DER MIKRO-TREIBMITTELPUMPE 6 2 PUMPEINHEIT 7 2.1 GASDYNAMISCHE
GRUNDLAGEN 7 2.2 GEOMETRISCHE AUSLEGUNG UND HERSTELLUNG DER PUMPEINHEIT
13 2.3 SIMULATIONSERGEBNISSE 19 2.4 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 25 2.5
ZUSAMMENFASSUNG 38 3 TREIBMITTELKREISLAUF 41 3.1 KONZEPT UND
THEORETISCHE GRUNDLAGEN 41 3.1.1 OBERFLACHENENERGIE UND
OBERFLACHENSPANNUNG 42 3.1.2 BENETZUNG 43 3.1.3 KAPILLARITAT 43 3.2
UNTERSUCHUNG HYDROPHOBER SCHICHTEN 44 3.Z1 GASPHASENABSCHEIDUNG VON
CHLORSILANEN 45 3.3 POROSES SILIZIUM ALS DRUCKABSORBER 52 3.3.1
HERSTELLUNG VON POROSEM SILIZIUM 52 3.3.2 POROSIFIZIERUNG VON
SILIZIUMSUBSTRATEN 54 3.3.3 HERSTELLUNG UND CHARAKTERISIERUNG DER
TESTSYSTEME 64 3.4 ZUSAMMENFASSUNG 67 4 DRUCKMESSUNG 69 4.1 THEORETISCHE
GRUNDLAGEN EINES PIRANI-SENSORS 69 4.2 ENTWURF UND HERSTELLUNG DER
PIRANI DRUCKSENSOREN 71 4.3 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 75 4.4
ZUSAMMENFASSUNG 77 5 VERDAMPFUNG UND KONDENSATION 79 5.1
THERMODYNAMISCHE BETRACHTUNGEN 79 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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5.2.2 KTIHLER ALS GEGENSTROM-WARMEUBERTRAGER 88 5.3 EXPERIMENTED
ERGEBNISSE 91 5.3.1 VERDAMPFUNG 91 5.3.2 KONDENSATION 93 5.4
ZUSAMMENFASSUNG 93 6 GESAMTSYSTEM 95 6.1 HERSTELLUNG DES GESAMTSYSTEMS
95 6.2 CHARAKTERISIERUNG DES GESAMTSYSTEMS 100 6.3 ZUSAMMENFASSUNG 102 7
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 103 FROZESSPARAMETER 117 SYMBOLE UND
ABKURZUNGEN 135
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