Synergismen bei der Erosion von amorphen Kohlenwasserstoffschichten mit niederenergetischen und thermischen Teilchenstrahlen: eine In-Situ-Ellipsometriestudie
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Bibliographic Details
Main Author: Schlüter, Michael (Author)
Format: Thesis Book
Language:German
Published: 2008
Subjects:
Item Description:Auch als Online-Diss. unter der URL: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:703-opus-4437
Physical Description:86, XI S. graph. Darst.

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