Hilleringmann, U. (2008). Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik ; mit 37 Aufgaben mit Lösungen (5., erg. und erw. Aufl.). Vieweg + Teubner.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik ; Mit 37 Aufgaben Mit Lösungen. 5., erg. und erw. Aufl. Wiesbaden: Vieweg + Teubner, 2008.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hilleringmann, Ulrich. Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik ; Mit 37 Aufgaben Mit Lösungen. 5., erg. und erw. Aufl. Vieweg + Teubner, 2008.
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