Strukturdynamische Fehlermodellierung mikromechanischer Drehratensensoren für den Einsatz in der inertialen Navigation:
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München
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2008
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INHALTSVERZEICHNIS 9 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 11 1 EINLEITUNG 15 1.1 DIE
INERTIALE NAVIGATION 15 1.2 FUNKTIONSPRINZIPIEN MIKROMECHANISCHER
CORIOLIS-DREHRATENSENSOREN 24 1.3 INTERNATIONALER STAND VON FORSCHUNG
UND TECHNIK 31 1.4 MOTIVATION UND ZIELSETZUNG DER ARBEIT 38 1.5
GLIEDERUNG DER ARBEIT 47 2 SIGNALVERARBEITUNG 49 2.1 KAPAZITIVE
MESSPRINZIPIEN 49 2.2 AUSWERTESCHALTUNG 53 2.3 STABILITAETSKRITERIEN 58
2.4 MESSTECHNIK 60 3 SILIZIUM-FERTIGUNGSTECHNOLOGIE 63 3.1
MIKROTECHNISCHE FERTIGUNGSVERFAHREN 63 3.2 SOI-TECHNOLOGIEKONZEPT 64 3.3
REALISIERUNG 68 4 STRUKTURDYNAMISCHE MODELLIERUNG 71 4.1
MODELLIERUNGS-UND SIMULATIONSABLAUF 71 4.2 EIGENMODEN UND DIE
MECHANISCHE GRENZBELASTBARKEIT 73 4.3 STRUKTURDAEMPFUNG UND
SCHWINGUNGSGUETEN 79 4.4 AMPLITUDEN- UND PHASENVERHALTEN 89 4.5
TEMPERATURVERHALTEN 91 4.6 ELEKTROSTATIK 94 5 PARASITAERE
SIGNALEINKOPPLUNGEN 101 5.1 PARASITAERES FEHLERMODELL 101 5.2 SEPARATION
DER NUTZINFORMATION 103 5.3 SPANNUNGSABHAENGIGKEIT DER PARASITAEREN
BONDPADKAPAZITAET 106 6 SIGNALRAUSCHEN 109 6.1 DIE ALLAN-VARIANZ-METHODE
109 6.2 RAUSCHENARTEN MIKROMECHANISCHER DREHRATENSENSOREN 112
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