Gepulste Abscheidung von (Cr,Al)N PVD-Niedertemperaturschichtsystemen für Hochleistungsbauteile:
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| Published: |
Aachen
Shaker
2007
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| Series: | Schriftenreihe Oberflächentechnik
7 |
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ABSCHEIDUNG VON (CR,AI)NPVD-NIEDERTEMPERATURSCHICHTSYSTEMEN FUER
HOCHLEISTUNGSBAUTEILE SHAKER VERLAG AACHEN 2007 INHALTSVERZEICHNIS 1
EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG 1 2 REIBUNG UND VERSCHLEISS 4 2.1 TRIBOLOGIE 4
2.2 VOLUMEN- UND OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN 5 2.3 GLEITREIBUNG 7 2.4
ROLLREIBUNG 13 2.5 FLUESSIGKEITSREIBUNG 16 2.6 VERSCHLEISS 21 3 KONZEPT
FUER BAUTEILBESCHICHTUNGEN 27 3.1 ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN AN EINE
BAUTEILBESCHICHTUNG 27 3.2 PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION
(PVD)-BAUTEILBESCHICHTUNGEN 28 3.3 SCHICHTKONZEPT DIAMOND LIKE CARBON
(DLC)-SCHICHTEN 28 3.4 SCHICHTKONZEPT (CR,AL)N 29 4 SCHICHTSYNTHESE 33
4.1 VORBEHANDLUNG 33 4.2 SUBSTRATE 33 4.3 PVD-TECHNOLOGIE 33 5
ANLAGENTECHNIK UND UNTERSUCHUNGSMETHODEN 46 5.1 GRUNDCHARAKTERISIERUNG
46 5.2 ANWENDUNGSNAHE UNTERSUCHUNGEN 57 5.3 FELDVERSUCH 58 6 ERGEBNISSE
59 6.1 SYNTHESE 59 6.2 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 70 6.3 VERSCHLEISSSCHUTZ 75
6.4 NANOINDENTATION 75 6.5 ANWENDUNGSNAHE EIGENSCHAFTEN 77 6.6
FELDVERSUCHE :... 86 7 DISKUSSION 90 7.1 SYNTHESE 90 7.2 BIASSPANNUNG 93
7.3 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 98 7.4 NANOINDENTATION 100 7.5 IMPACTVERSUCH
100 7.6 BOD 101 8 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK H 103 9 ABKUERZUNGEN .-
105 10 GLOSSAR 106 11 LEBENSLAUF ,.-. V. 117
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SCHRIFTENREIHE OBERFLAECHENTECHNIK BAND 7 MICHEL MAES GEPULSTE
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HOCHLEISTUNGSBAUTEILE SHAKER VERLAG AACHEN 2007 INHALTSVERZEICHNIS 1
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