APA (7th ed.) Citation

Hilleringmann, U. (2006). Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; mit 13 Tabellen (1. Aufl.). Teubner. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1

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Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; Mit 13 Tabellen. 1. Aufl. Wiesbaden: Teubner, 2006. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1.

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Hilleringmann, Ulrich. Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; Mit 13 Tabellen. 1. Aufl. Teubner, 2006. https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1.