(2004). Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition ([Nachdr.].). Wiley-VCH Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition. [Nachdr.]. Weinheim: Wiley-VCH Verl, 2004.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition. [Nachdr.]. Wiley-VCH Verl, 2004.
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