APA (7th ed.) Citation

Wolf, R. (1994). Reaktives Ionen Ätzen von 6H-Siliziumkarbid ([Maschinenschrift].).

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Wolf, René. Reaktives Ionen Ätzen Von 6H-Siliziumkarbid. [Maschinenschrift]. 1994.

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Wolf, René. Reaktives Ionen Ätzen Von 6H-Siliziumkarbid. [Maschinenschrift]. 1994.

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