Wolf, R. (1994). Reaktives Ionen Ätzen von 6H-Siliziumkarbid ([Maschinenschrift].).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wolf, René. Reaktives Ionen Ätzen Von 6H-Siliziumkarbid. [Maschinenschrift]. 1994.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wolf, René. Reaktives Ionen Ätzen Von 6H-Siliziumkarbid. [Maschinenschrift]. 1994.
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