Steuerbare Mikrowellenkomponeneten auf der Basis von ferroelektrischen Dünnschichtkondensatoren:
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Aachen
Shaker
2007
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| Series: | Berichte aus der Elektrotechnik
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| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
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| adam_text | BERICHTE AUS DER ELEKTROTECHNIK STEFAN TAPPE STEUERBARE
MIKROWELLENKOMPONENETEN AUF DER BASIS VON FERROELEKTRISCHEN
DUENNSCHICHTKONDENSATOREN SHAKER VERLAG AACHEN 2007 V INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1 1.1 MOTIVATION 1 1.2 ZIELSETZUNG 3 2 DIELEKTRISCHE
HOCHFREQUENZCHARAKTERISIERUNG VON DUENNFILMMATE- RIALIEN 5 2.1 GRUNDLAGEN
5 2.1.1 DEFINITION DER STREUMATRIX 5 2.1.2 KALIBRATION UND
FEHLERKORREKTUR 6 2.2 HERKOEMMLICHE MESSVERFAHREN 8 2.3
REFLEXIONSMESSVERFAHREN 9 2.3.1 ERSATZSCHALTBILD DES REALEN
PROBENKONDENSATORS . ... 9 2.3.2 REFLEXIONSMESSUNGEN UNTER ON-WAFER
BEDINGUNGEN . 11 3 SHUNTMESSVERFAHREN 13 3.1 EINFLUSS VON
MESSUNGENAUIGKEITEN AUF DAS REFLEXIONS- UND SHUNTMESSVERFAHREN 14 3.2
EINFLUSS DER ON-WAFER BEDINGUNGEN 18 3.3 ZUSAMMENFASSUNG 20 4
EIGENSCHAFTEN FERROELEKTRISCHER MATERIALIEN 21 4.1 FERROELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN 21 4.2 DEPOSITIONSMETHODEN 22 4.3 AUFBAU DER KAPAZITIVEN
STRUKTUREN C. 25 4.3.1 PROZESSIERUNG DER HOCHFREQUENZKONDENSATOREN ....
26 4.3.2 HERSTELLUNGSMODIFIKATIONEN 28 VI 5 HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN
FERROELEKTRISCHER DUENNFILME 31 5.1 DIELEKTRISCHES VERHALTEN UND
VERLUSTMECHANISMEN 31 5.1.1 PERMITTIVITAET UND TUNABILITY 31 5.1.2
VERLUSTMECHANISMEN 33 5.1.3 COMMUTATION QUALITY FACTOR 38 5.2
MATERIALCHARAKTERISIERUNG 39 5.2.1 MIKROWELLENEIGENSCHAFTEN DER
VARAKTOREN 40 5.2.2 MIKROWELLENEIGENSCHAFTEN VON BST-DUENNSCHICHTEN . 44
5.2.3 MIKROWELLENEIGENSCHAFTEN VON PZT-DUENNSCHICHTEN . . 51 5.2.4
MIKROWELLENEIGENSCHAFTEN VON BTZ-DUENNSCHICHTEN . 54 5.3 MATERIALAUSWAHL
FUER STEUERBARE MIKROWELLENKOMPONENTEN . . 57 6 STEUERBARE
MIKROWELLENBAUELEMENTE: TECHNOLOGISCHE VORAUSSET- ZUNGEN 59 6.1
SUBSTRATMATERIALIEN 59 6.2 WELLENLEITERKONFIGURATION 60 6.3 HERSTELLUNG
DER HOCHFREQUENZSCHALTUNGEN 62 6.3.1 PROZESSIERUNG DER LEITERSTRUKTUREN
62 6.3.2 INTEGRATION DER LEITERSTRUKTUREN ZUSAMMEN MIT DEN FER-
ROELEKTRISCHEN VARAKTOREN . 64 7 STEUERBARE MIKROWELLENBAUELEMENTE:
PHASENSCHIEBER 67 7.1 ANWENDUNG VON UND KONZEPTE FUER PHASENSCHIEBER 67
7.2 LOADED LINE PHASENSCHIEBER 68 7.2.1 FUNKTIONSPRINZIP * 68 7.2.2
DESIGNVORSCHRIFTEN 71 7.2.3 BERECHNUNG DER UEBERTRAGUNGSEIGENSCHAFTEN 74
VII 7.2.4 DESIGN 75 7.2.5 SIMULATIONEN 77 7.2.6 REALISIERUNG 81 7.2.7
ZUSAMMENFASSUNG 83 8 STEUERBARE MIKROWELLENBAUELEMENTE: BANDPASSFILTER
85 8.1 THEORETISCHE GRUNDLAGEN ZU ABSTIMMBAREN FILTERN 85 8.1.1 GUETE UND
ABSTIMMBARKEIT VON RESONATOREN 85 8.1.2 ABSTIMMBARE Z,C-BANDPASSFILTER
MIT VARIABLER KAPAZITAET 87 8.1.3 BEDINGUNGEN FUER KONSTANTE BANDBREITE
UND FILTERCHA- RAKTERISTIK 94 8.2 ABSTIMMBARE KOPLANARE BANDPASSFILTER
MIT VIERTELWELLENRESO- NATOREN 96 8.2.1 KOPLANARES BANDPASSFILTER MIT
A/4-RESONATOREN . . . . 97 8.2.2 ERWEITERUNG ZUM ABSTIMMBAREN
BANDPASSFILTER . . . . 101 8.2.3 ZUSAMMENFASSUNG 103 9
SCHLUSSFOLGERUNGEN 105 9.1 ZUSAMMENFASSUNG 105 9.2 AUSBLICK 106
LITERATUR 109
|
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BERICHTE AUS DER ELEKTROTECHNIK STEFAN TAPPE STEUERBARE
MIKROWELLENKOMPONENETEN AUF DER BASIS VON FERROELEKTRISCHEN
DUENNSCHICHTKONDENSATOREN SHAKER VERLAG AACHEN 2007 V INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1 1.1 MOTIVATION 1 1.2 ZIELSETZUNG 3 2 DIELEKTRISCHE
HOCHFREQUENZCHARAKTERISIERUNG VON DUENNFILMMATE- RIALIEN 5 2.1 GRUNDLAGEN
5 2.1.1 DEFINITION DER STREUMATRIX 5 2.1.2 KALIBRATION UND
FEHLERKORREKTUR 6 2.2 HERKOEMMLICHE MESSVERFAHREN 8 2.3
REFLEXIONSMESSVERFAHREN 9 2.3.1 ERSATZSCHALTBILD DES REALEN
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EINFLUSS DER ON-WAFER BEDINGUNGEN 18 3.3 ZUSAMMENFASSUNG 20 4
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EIGENSCHAFTEN 21 4.2 DEPOSITIONSMETHODEN 22 4.3 AUFBAU DER KAPAZITIVEN
STRUKTUREN C. 25 4.3.1 PROZESSIERUNG DER HOCHFREQUENZKONDENSATOREN .
26 4.3.2 HERSTELLUNGSMODIFIKATIONEN 28 VI 5 HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN
FERROELEKTRISCHER DUENNFILME 31 5.1 DIELEKTRISCHES VERHALTEN UND
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