Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
2007
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| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 |
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| adam_text | UNTERSUCHUNG DER AUSFALLMECHANISMEN IN FERROELEKTRISCHEN PZT -
DUENNSCHICHTEN ZUR VERWENDUNG IN SPEICHERKONDENSATOREN VON DER FAKULTAET
FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN
TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES
EINES DOKTORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION
VORGELEGT VON DIPLOM-PHYSIKER PETER JOERG SCHORN AUS AACHEN BERICHTER:
UNIV.-PROF. DR. RAINER WASER UNIV.-PROF. DR. SIEGFRIED MANTL TAG DER
MUENDLICHEN PRUEFUNG: 01.03.2007 D 82 (DISS. RWTH-AACHEN)
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 1.1 UEBERSICHT 1 1.2 MOTIVATION DER
ARBEIT 2 2 GRUNDLAGEN 5 2.1 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN 5 2.2 VERWENDUNG IN
FERAM 10 2.3 AUSFALLKRITERIEN FUER DUENNSCHICHTKONDENSATOREN 12 3
PROBENHERSTELLUNG 17 3.1 LOESUNGSHERSTELLUNG UND ABSCHEIDUNG 18 3.2
ABSCHEIDUNG WEITERER MATERIALSCHICHTEN 21 3.3 KONTROLLE DER
SCHICHTQUALITAET 23 4 UNTERSUCHUNGEN AN BLEIHAFNAT 27 4.1 GRUNDLEGENDE
ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG 27 4.2 LANTHAN - DOTIERTES PHT 31 4.3
FATIGUE - UNTERSUCHUNGEN 34 4.3.1 SIGNALFORMABHAENGIGKEIT 35 I
INHALTSVERZEICHNIS 4.4 IMPRINT - VORUNTERSUCHUNGEN 37 4.4.1
ZUVERLAESSIGKEIT DER MESSWERTE 38 4.4.2 VERGLEICH DER MESSMETHODEN 40 5
DER FATIGUE - MECHANISMUS 43 5.1 PROBENABHAENGIGES VERHALTEN 44 5.1.1
DOTIERSTOFFABHAENGIGKEIT 45 5.1.2 TEXTURABHAENGIGES VERHALTEN 46 5.2
NUMERISCHE PARAMETRISIERUNG 50 5.3 ABHAENGIGKEIT DER AEUSSEREN
MESSPARAMETER 54 5.3.1 FREQUENZABHAENGIGKEIT 54 5.3.2
SPANNUNGSABHAENGIGKEIT 55 5.3.3 TEMPERATURABHAENGIGKEIT 58 5.4 DAS
FATIGUEVERHALTEN OXIDISCHER ELEKTRODEN 60 5.5 WIEDERERNEUERUNG DER
POLARISATION 67 5.6 PHYSIKALISCHES MODELL ZUM MECHANISMUS 69 6 DER
IMPRINT - MECHANISMUS 77 6.1 TEMPERATURABHAENGIGKEIT 77 6.2 EINFLUSS DER
MESSPARAMETER 81 6.3 MESSUNGEN AN DOTIERSTOFFSERIEN 84 6.4
DOPPELSCHICHTSYSTEME 88 6.5 STARTEXPERIMENT 92 6.6 ISOLATIONSSCHICHTEN
96 6.6.1 SILIZIUMDIOXID-RANDSCHICHT 96 INHALTSVERZEICHNIS 6.6.2
BARIUMSTRONTIUMTITANAT 6.6.3 ALUMINIUMOXID 101 6.7 MONTE CARLO
SIMULATIONEN 108 6.8 BISHERIGE MODELLVORSTELLUNGEN 117 6.8.1 DAS
DEFEKTDIPOL-MODELL 118 6.8.2 ABSCHIRMUNG DURCH DIE KERNSCHICHT 119 6.8.3
ABSCHIRMUNG DURCH EINE RANDSCHICHT 120 6.9 MODIFIZIERTES IMPRINTMODELL
124 6.9.1 VERGLEICH MIT DEN EXPERIMENTELLEN BEFUNDEN 124 6.9.2
VERBESSERTE MODELLVORSTELLUNG 127 7 ZUSAMMENFASSUNG 135
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 146 TABELLENVERZEICHNIS 147 LITERATURVERZEICHNIS
149 DANKSAGUNG 161
|
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UNTERSUCHUNG DER AUSFALLMECHANISMEN IN FERROELEKTRISCHEN PZT -
DUENNSCHICHTEN ZUR VERWENDUNG IN SPEICHERKONDENSATOREN VON DER FAKULTAET
FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN
TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES
EINES DOKTORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION
VORGELEGT VON DIPLOM-PHYSIKER PETER JOERG SCHORN AUS AACHEN BERICHTER:
UNIV.-PROF. DR. RAINER WASER UNIV.-PROF. DR. SIEGFRIED MANTL TAG DER
MUENDLICHEN PRUEFUNG: 01.03.2007 D 82 (DISS. RWTH-AACHEN)
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 1.1 UEBERSICHT 1 1.2 MOTIVATION DER
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