Faseroptisches Interferometer mit miniaturisierter Messsonde zur hochgenauen Prüfung geometrischer Merkmale:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2007
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschrittberichte VDI
Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 1123 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IX, 97 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 9783185123085 |
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|---|---|
| adam_text | Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung 1
2 Stand der Technik 3
2.1 Uchtwellenleltor (LWL) 5
2.1.1 Historie 5
2.1.2 Uchtausbreitung In Uchtwellenleitern 7
2.1.3 Grundtypen von Uchtwellenleitern 9
2.1.3.1 Stufenindexfasem 9
2.1.3.2 Gradientenindexfasern 10
2.2 Einteilung faseroptischer Sensoren 12
2.3 Kommerziell erhättiche faserbasierte Systeme 14
2.3.1 Systeme zur Abstandsmessung 16
2.3.2 Zusammenfassung 21
2.4 Interferometrie 22
2.4.1 Grundlagen der Schwingungs und Wellentheorie 24
2.4.2 Entstehung von Interferenzen 25
2.4.3 Faseroptische Interferometer 28
Z5 Fazit 30
V
3 Zielsetzung und Aufgabenstellung 31
3.1 Anforderungsprofil an das Messsystem 31
3.2 Präzisierung der Aufgabenstellung 33
4 Messsystem 36
4.1 Interferenzbildung Im faseroptischen Messsystem 38
4.2 Sensoreinheit 39
4.2.1 Lichtquellen 40
4.2.2 Lichtwellenleiter 41
4.2.2.1 Lichtwellenlefter Koppler 42
4.2.3 Miniaturisierte Messsonde 43
4.2.3.1 Entwicklungsstufen 43
4.2.3.2 Strahlformung des Messstrahls 45
4.2.3.3 Strahlteilung im Sensor 47
4.3 Interferometereinheit 47
4.3.1 Optischer Aufbau des Interferometers 48
4.3.2 Zeilenkamera 50
4.4 Prototyp 50
4.5 Signal und Datenverarbeitung 52
4.5.1 Auswertestrategie 53
4.5.2 Software 55
4.5.2.1 Bereich 1: Kamera 56
4.5.2.2 Bereich 2: Messung 58
4.6 Zusammenfassung 63
VI
5 Messunsicherheit und PrüfmltteHähigkelt 64
5.1 Untersuchungen zur Messunsicherheit 65
5.1.1 Standardabweichung der Gauss und Phasenwerte 66
5.1.2 Untersuchungen zur Wiederholpräzision 67
5.1.3 Untersuchungen zum Temperatureinfluss 70
5.1.4 Untersuchungen zur Winkelabhängigkeit 72
5.1.5 Untersuchungen zu Rauheitseinflüssen 72
5.2 Nachweis der Prüfmittelfähigkeit mit Normal 74
6 Anwendungsbeispiele 78
6.1 Beispiel 1: Profilmessung Mikrostufe 78
6.2 Beispiel 2: Flächenmessung Facettenspiegel 80
7 Zusammenfassung und Ausblick 82
Anhang: Datenblatter 84
Literaturverzeichnis 85
Eigene Veröffentlichungen 95
VII
|
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Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung 1
2 Stand der Technik 3
2.1 Uchtwellenleltor (LWL) 5
2.1.1 Historie 5
2.1.2 Uchtausbreitung In Uchtwellenleitern 7
2.1.3 Grundtypen von Uchtwellenleitern 9
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2.2 Einteilung faseroptischer Sensoren 12
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2.3.2 Zusammenfassung 21
2.4 Interferometrie 22
2.4.1 Grundlagen der Schwingungs und Wellentheorie 24
2.4.2 Entstehung von Interferenzen 25
2.4.3 Faseroptische Interferometer 28
Z5 Fazit 30
V
3 Zielsetzung und Aufgabenstellung 31
3.1 Anforderungsprofil an das Messsystem 31
3.2 Präzisierung der Aufgabenstellung 33
4 Messsystem 36
4.1 Interferenzbildung Im faseroptischen Messsystem 38
4.2 Sensoreinheit 39
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4.6 Zusammenfassung 63
VI
5 Messunsicherheit und PrüfmltteHähigkelt 64
5.1 Untersuchungen zur Messunsicherheit 65
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5.1.2 Untersuchungen zur Wiederholpräzision 67
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6 Anwendungsbeispiele 78
6.1 Beispiel 1: Profilmessung Mikrostufe 78
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Eigene Veröffentlichungen 95
VII |
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| spelling | Depiereux, Frank Verfasser aut Faseroptisches Interferometer mit miniaturisierter Messsonde zur hochgenauen Prüfung geometrischer Merkmale Frank Depiereux Faseroptisches Messsystem Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 2007 IX, 97 S. Ill., graph. Darst. 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik 1123 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Miniaturisierung (DE-588)4406753-7 gnd rswk-swf Optische Messung (DE-588)4121429-8 gnd rswk-swf Abstandsmessung (DE-588)4195923-1 gnd rswk-swf Fertigungsmesstechnik (DE-588)4121259-9 gnd rswk-swf Faseroptisches Interferometer (DE-588)4153759-2 gnd rswk-swf Konstruktionselement (DE-588)4165100-5 gnd rswk-swf Monomodefaser (DE-588)4196888-8 gnd rswk-swf Formmessung (DE-588)4712158-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Faseroptisches Interferometer (DE-588)4153759-2 s Monomodefaser (DE-588)4196888-8 s Miniaturisierung (DE-588)4406753-7 s Konstruktionselement (DE-588)4165100-5 s Formmessung (DE-588)4712158-0 s Abstandsmessung (DE-588)4195923-1 s DE-604 Fertigungsmesstechnik (DE-588)4121259-9 s Optische Messung (DE-588)4121429-8 s Fortschrittberichte VDI Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 1123 (DE-604)BV000882482 1123 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=015866080&sequence=000002&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Depiereux, Frank Faseroptisches Interferometer mit miniaturisierter Messsonde zur hochgenauen Prüfung geometrischer Merkmale Fortschrittberichte VDI Miniaturisierung (DE-588)4406753-7 gnd Optische Messung (DE-588)4121429-8 gnd Abstandsmessung (DE-588)4195923-1 gnd Fertigungsmesstechnik (DE-588)4121259-9 gnd Faseroptisches Interferometer (DE-588)4153759-2 gnd Konstruktionselement (DE-588)4165100-5 gnd Monomodefaser (DE-588)4196888-8 gnd Formmessung (DE-588)4712158-0 gnd |
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